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中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標準
作者: 發(fā)布于:2018-01-02 16:50:46 點擊量:

指標\級別 

 EW 

 EW 

EW  

EW-Ⅳ 

 電阻率 MΩ,cm(25) 

18以上,(95%時間)不低于17 

15,(95%時間)不低于13 

 12.0    

0.5    

 全硅,最大值,μg/L

 

2

 

10

 

50

 

1000

 

 1μm微粒數(shù),最大值,個/mL

 

0.1 

5 

10 

500 

 細菌個數(shù),最大值,個/mL

 

0.01

0.1

10

100 

 銅,最大值,μg/L

 

0.2 

1 

2 

500 

 鋅,最大值,μg/L

 

0.2

1 

5 

500 

 鎳,最大值,μg/L

 

0.1 

1 

2 

500 

 鈉,最大值,μg/L

 

0.5 

2 

5 

1000 

 鉀,最大值,μg/L

 

0.5 

2 

5 

500 

 氯,最大值,μg/L

 

1 

1

 

10

 

1000

 

 硝酸根,最大值,μg/L

 

1

 

1

 

5

 

500

 

 磷酸根,最大值,μg/L

 

1

 

1

 

5

 

500

 

 硫酸根,最大值,μg/L

 

1

 

1

 

5

 

500

 

 總有機酸,最大值,μg/L

 

20

 

100

 

200

 

1000

 




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